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镍铬合金靶是一种由镍和铬按一定比例合成的合金构成的溅射靶材。具有优异的物理和化学性质,如高电阻率、低电阻温度系数、较高的灵敏系数以及对温度依赖小等特点。这使得镍铬合金靶在众多领域具有广泛的应用。
在当今高科技领域中,镍铬合金靶材扮演着重要的角色。在混合集成电路的制备中,镍铬合金靶用于制备精密电阻薄膜,满足电阻应变计敏感薄膜的性能要求。同时,在表面强化薄膜制备领域,镍铬合金靶以其、减磨、耐热和抗腐蚀等特性,被广泛应用于低辐射玻璃、微电子、磁记录、半导体和薄膜电阻等技术产业中。
针对镍铬合金靶的制备方法,真空电弧熔炼是其中常见的工艺。通过电弧加热将镍和铬两种原始材料融合在一起,形成具有一定厚度的靶材。真空电弧熔炼制备的镍铬合金靶具有优异的物理化学性质和精细的表面平整度,得到了广泛应用。
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