钛铝合金靶材---钛铝(Titanium Aluminide)是金属间化合物;它有三种形态;加玛钛铝，阿路法2-Ti3Al和TiAl3.其中加玛钛铝令人感兴趣，也已得到实际应用。加玛钛铝具有优越的机械性能;密度低;只有4.0g/cm3;温度超过600度摄氏时的抗氧化和抗腐蚀能力仍很强。可代替传统的以镍为基的高温合金;加玛钛铝已用来制造波音787和波音747-8飞机的低压涡轮桨片.
钛铝合金靶材70：30at% 主要用做装饰镀膜 和工具镀膜上面
约于1970年，就开始有钛铝化合物的研究，但到1990年代，AMG才深入研究它，性能得到很大改进;从2000年开始，加玛TiAl得到实际的应用。
钛铝合金是银白色的金属，它具有许多优良性能。钛的密度为4.54g/cm3，比钢轻43% ，比久负盛名的轻金属镁稍重一些。机械强度却与钢相差不多，比铝大两倍，比镁大五倍。钛耐高温，熔点1942K，比黄金高近1000K，比钢高近500K。
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