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靶材比重计-陶瓷金属合金靶材致密度仪-KW-3000F
为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。
靶材在生产制造的过程中需要对其密度进行,采用的方法是阿基米德原理,仪器自动计算出靶材密度g/cm3。目前生产的采用人工对靶材进行升降,由于靶材重量大,操作不便,手动放置靶材到水中容易造成波动,不利于手动计算密度。因此需要一种专用密度仪进行操作。因此解决这一问题就显得十分必要。
技术参数:
型号:KW-3000F
称重精度:0.01g
称重量程:3000g(取样重量3000g以内,如需更大量程,可以定制)
密度精度:0.001g/cm3
靶材密度仪-KW-3000F
靶材比重计主要应用于金属靶材、合金靶材、陶瓷靶材
.金属靶材
镍靶Ni、钛靶Ti、锌靶Zn、铬靶Cr、镁靶Mg、铌靶Nb、锡靶Sn、铝靶Al、铟靶In、铁靶Fe、锆铝靶ZrAl、钛铝靶TiAl、锆靶Zr、铝硅靶AlSi、硅靶Si、铜靶Cu、钽靶Ta、锗靶Ge、银靶Ag、钴靶Co、金靶Au、钆靶Gd、镧靶La、钇靶Y、铈靶Ce、不锈钢靶、镍铬靶NiCr、铪靶Hf、钼靶Mo、铁镍靶FeNi、钨靶、W等。
陶瓷靶材ITO靶、氧化镁靶、氧化铁靶、氮化硅靶、碳化硅靶、氮化钛靶、氧化铬靶、氧化锌靶、硫化锌靶、二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化铈靶、二氧化锆靶、五氧化二铌靶、二氧化钛靶、二氧化锆靶,、二氧化铪靶,二硼化钛靶,二硼化锆靶,三氧化钨靶,三氧化二铝靶五氧化二钽,五氧化二铌靶、氟化镁靶、氟化钇靶、硒化锌靶、氮化铝靶,氮化硅靶,氮化硼靶,氮化钛靶,碳化硅靶,铌酸锂靶、钛酸镨靶、钛酸钡靶、钛酸镧靶、氧化镍靶、溅射靶材等。
合金靶材铁钴靶FeCo、铝硅靶AlSi、钛硅靶TiSi、铬硅靶CrSi、锌铝靶ZnAl、钛锌靶材TiZn、钛铝靶TiAl、钛锆靶TiZr、钛硅靶TiSi、钛镍靶TiNi、镍铬靶NiCr、镍铝靶NiAl、镍钒靶NiV、镍铁靶NiFe等。
比重(specific gravity)是相对密度(relative density)的旧称。相对密度定义为:某物质的密度与参考物质的密度之比。金属靶材通常是合金靶材才会用到相对密度,相对密度高代表含量高。
用100滑模拟钢弹和钨合金弹撞击钢、铝、铜、钛、铅、钨6种金属靶,实验结果表明长杆穿甲弹的侵彻深度与金属靶材料密度的0.36次幂成反比。建立了一个适合于长杆弹侵彻均质金属靶使用的关系式p/Dp=1.79(ρP/ρt)0.69(ρtV2/Yt)1/3 其中V是子弹的撞靶速度,ρp和ρt是弹材和靶材的密度,Yt是靶材的动态屈服强度,P为侵彻深度,Dp为弹径。
密度越高,精密度越好,镀膜过程中裂靶的概率会低点,建议靶材的密度和纯度都要实时管控,一台好用的检测仪器很重要。
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